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※ 本文轉寄自 ptt.cc 更新時間: 2023-10-25 21:19:04
看板 Tech_Job
作者 banana321 ()
標題 [請益] 乾蝕刻製程
時間 Tue Oct 24 15:49:00 2023

今天有去面試某“晶圓重生”的公司職缺，主管介紹他們是乾蝕刻，其中有用到HF氣體，
因為她說她機台有半自動，晶圓蝕刻完，腔體會purge 乾淨，用夾具把晶圓夾出，只要不
要亂摸蝕刻完晶圓片，就不會有腐蝕危險，因為她說不用穿防護裝（帶手套護目鏡就好）
，所以我問一下各位意見


謝謝

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 125.224.80.114 (臺灣)
※ 作者: banana321 2023-10-24 15:49:00
※ 文章代碼(AID): #1bDtRk7i (Tech_Job)
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1698133742.A.1EC.html
推 a1379       : 所以就是表面還是有HF的意思嗎...1F 10/24 15:55
可能會有
推 doverdover  : 依照法令，確實不用穿防護衣沒錯2F 10/24 15:58
如果腔體可以purge乾淨，不會洩漏，我是不怕，反正要戴手套夾晶片
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 16:01:21
推 Yishanhuang : 氣體可以完全purge乾淨的話，ALD就沒用啦3F 10/24 16:09
→ Yishanhuang : wafer表面還是會附著，不能直接摸
請問要戴那種手套？乳膠？耐酸鹼手套？
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 16:20:32
推 ccccccrex   : 絕對不會purge乾淨,看過etch設備開chamber都要戴5F 10/24 16:42
→ ccccccrex   : 豬鼻子
→ VSshow      : 看來你不懂HF多屌喔！7F 10/24 16:44
→ VSshow      : 記得保險保好保滿，然後絕對要照公司規定，免得你發
→ VSshow      : 生工安意外公司可以逃避責任
→ VSshow      : 這主管也腦，乾淨=0 這種話敢講
因為我是有點懷疑，我知道HF的威力，會死人的，因為晶圓片上會有，那麼腔體就會有。
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 16:49:04
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 16:50:04
請問有手動夾晶片的？如果腔體是再chamber內，有防護，應該是ok的。
如果要開chamber，不用穿防護衣嗎？
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 17:00:45
推 yellow3621  : 機台沒有robot夾到foup裡面？11F 10/24 17:20
他們目前手動機台，試製轉量產中
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 17:30:34
因為蝕刻完晶片，還要夾出來，那不就是要開腔體嗎？這樣不是HF會跑出來，而且還要目
檢（我不知道目檢那關的晶片到底是否有洗過了）
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 17:32:33
→ sc1         : HF放心 聞到會讓你重生重新投胎 做溫拿 不會上電視12F 10/24 17:55
推 Madao0149   : 應該要inline 接到wet clean完再拿才對吧13F 10/24 17:56
推 Madao0149   : 如果這樣可以直接拿我也是醉
他可能流程講的沒有很完整吧，不過如果有wet clean，那就沒有HF。
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 18:03:43
→ bnn         : 手動操作機械臂送到cassette吧15F 10/24 18:22
→ bnn         : 為啥你會需要開腔體 有loading chamber和working
→ bnn         : 不過學校級無塵室purge完鑷子去夾 聽起來好像正常
→ bnn         : purge反正都是多個cycle 其實都是ppm^n次 看設定
→ bnn         : 然後對於這個 防護衣沒用 它是氣體 不是防潑灑
我不確定是自己夾嗎？因為他說要帶手套啊
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 18:52:40
推 yellow3621  : 反正就戴個兩層手套，熱一點總比灼傷好20F 10/24 18:57
→ banana321   : 總比骨頭被吃掉21F 10/24 19:02
推 popileds    : 要帶防毒面具，不然健檢你就知道22F 10/24 19:05
→ popileds    : 一堆人都是中毒
如果有進去工作，如果真的需要開腔體拿晶圓片，我在跟他們要mask。
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 19:10:59
推 ian41360    : purge可以乾淨，設備PM就不用全副武裝了24F 10/24 19:24
→ ll2233445566: 重新找吧25F 10/24 19:59
噓 ijk1        : 溼蝕刻比較爽 也有HF 只是是液體 給你參考26F 10/24 20:12
推 ccc0950467  : 命比較重要27F 10/24 20:14
→ WilliamLFY  : 一堆人拿命去賠都還不知道老闆在後面數錢28F 10/24 20:19
不過他說他們HF用量非常少，一小罐用一年
※ 編輯: banana321 (125.224.80.114 臺灣), 10/24/2023 20:28:23
推 VSshow      : 跟HF有關的薪水也沒多高，勸你沒選擇再去然後準備找29F 10/24 21:19
→ VSshow      : 下一份
→ VSshow      : 一小罐，微量就讓你掰了
目前真的沒選擇，不過也要等收到錄取通知才能去
推 jason138    : 遠離蝕刻、黃光32F 10/24 23:12
推 kyle5241    : 以前在實驗室用glove box 加雙層手套33F 10/24 23:36
推 yfs956423   : 老鐵你真敢34F 10/25 00:40
推 CHEAT1069   : 他說的都是理想情況35F 10/25 00:43
→ uranus99    : 這種東西少量更恐怖，等你有感時可能已經沒救了36F 10/25 01:23
→ uranus99    : 看薪水吧，如果錢真的很多願意做，自己要保護好就行
→ MUMUKON     : 進去就知道了啦 cl的說都會purge 每次打開都是消毒38F 10/25 02:16
→ MUMUKON     : 水味道真香
※ 編輯: banana321 (125.224.83.112 臺灣), 10/25/2023 06:59:00
→ sc1         : yahoo說蝕刻工作機會很多給這個科系出路超廣40F 10/25 08:40
推 snoopy790428: 沒地震破片摸晶圓幹嘛41F 10/25 14:22
推 mininakai   : 設備？製程？我進半導體之後已經很久沒碰HF了42F 10/25 15:32
→ lockin      : 半導體製程會接觸到HF?見鬼嗎?都有管線怎麼會接觸43F 10/25 15:49
dry etch, rebirth，這塊設備我沒有很熟，所以他說的我有點模糊
※ 編輯: banana321 (125.224.83.112 臺灣), 10/25/2023 16:45:32
推 knowlife    : 生命無價，HF化骨水超毒44F 10/25 17:03
※ 編輯: banana321 (125.224.83.112 臺灣), 10/25/2023 18:19:56
推 zames0625   : 笑死 這麼安全簡單 那他怎麼不自己去做 這種接觸到45F 10/25 19:21
→ zames0625   : 的風險很大啦 不要傻傻的去
推 ttosgion    : 別當前段 那是用生命換錢47F 10/25 20:20

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