作者 Qoo2222 (Qoo2222)標題 Re: [新聞] 中美晶片大戰未歇 陸劇《我的中國芯》惹時間 Sun Jul 23 23:28:49 2023
很多人酸193奈米 不過這是整部片少數比較正確的資訊
193nm ArF 是DUV採用的光源
光源193nm 不代表 只能做到193奈米製程
事實上台積電不用EUV也可以做到7奈米製程
退一步說 現在最先進的EUV 光源是13.5nm
但是可以做到5奈米 3奈米甚至更低的製程
真正的關鍵公式是萊利公式
CD=k1 x ( λ / NA)
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※ 作者: Qoo2222 2023-07-23 23:28:49
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Re: [新聞] 中美晶片大戰未歇 陸劇《我的中國芯》惹
07-23 23:28 Qoo2222
推 neil0611: 如果沒KLA，有ASML也沒用，科科1F 223.141.158.246 台灣 07/23 23:31
推 porkonrice: 看不懂啦2F 223.138.160.114 台灣 07/23 23:34
→ logic886: 沒有台積電，KLM,ASML只會發展用手刻的機器3F 1.200.184.42 台灣 07/23 23:35
推 a524528: 都是相輔相成啦5F 223.136.58.31 台灣 07/23 23:38
→ tkfc5566: 詞唷即將到來絲絲絲入扣6F 223.139.144.253 台灣 07/23 23:41
→ gk1329: 除了光源還需要機台精度啊7F 1.200.171.54 台灣 07/23 23:44
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