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※ 本文轉寄自 ptt.cc 更新時間: 2022-12-14 23:15:09
看板 Tech_Job
作者 poemsing (___)
標題 Re: [請益] 面試被問後段製程為什麼半導體蓋那麼高
時間 Wed Dec 14 19:09:01 2022


※ 引述《mytaiwan (轉角遇到困難)》之銘言:
: 如題,面試某科技廠時被問CMP和BEOL這些方向,結果人資問BEOL為什麼要蓋那麼高(示
: 意圖)我說訊號傳遞,人資說能不能再清楚一點,然後我也不知道怎麼掰了。回到家還是
: 在想為什麼要一直堆疊,可是谷歌的結果也是沒答案,各位鄉民知道嗎?
: https://i.imgur.com/EGNtsRB.jpg


認真回覆你的問題,不要說Ptt沒有溫暖

1. 以銅製程CMOS Logic製程而言,channel size從80nm>55>40>28>1x FinFet,
Device尺寸一直微縮,對應就是你BEOL金屬化metal routing線就跟著約細密,
然後DUV黃光曝光有極限,當難以Routing時,就會把走線往上延伸一層,
有點類似BEOL 的Metal +Via當contact用。
BTW, 最容易理解的範例就是例如28nmCOMS下的6T SRAM是需要3層Metal來完成,因為Bit
size太細,M1只是將contact 往上拉騰出空間,M2和M3分別完成BL和WL的走線。

2.部分embedded High voltage製程,為了避免金屬走線電壓差過大,所以必須讓開Metal
 space,當空間不足以routing時,就必須往上畫。

3.部分RF元件,必須使用電感,因此會有Ultra thick metal的使用。

4.製程需要電容,其中MOM,就是需要METAL和METAL夾的寄生電容。

總結,
一般成熟的CMOS Logic製程都會提供多種metal option給客戶用,不乏有1P10M的選項,
但是越多層Metal,成本越高,cycle time越長,所以能少一層是一層

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 118.231.146.46 (臺灣)
※ 文章代碼(AID): #1ZcQxF3d (Tech_Job)
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1671016143.A.0E7.html
※ 編輯: poemsing (118.231.146.46 臺灣), 12/14/2022 19:09:36
※ 編輯: poemsing (118.231.146.46 臺灣), 12/14/2022 19:11:56
magamanzero : 幫推一下 認真回的 沒人理QQ1F 12/14 19:29
cya0731     : 長知識了2F 12/14 19:30
easypro     : 推一個 張知識3F 12/14 19:31
nlriey      : 幫推4F 12/14 19:32
a12349221   : 推5F 12/14 19:41
ming5566    : 可以6F 12/14 19:49
magamanzero : CD過了 補回來7F 12/14 19:54
cathy79123  : 好文~8F 12/14 19:57
nanpolend   : 專業摩爾定律失效也是因為原子間距離太過接近,已9F 12/14 19:58
nanpolend   : 經是量子物理的範疇
Neap        : 推11F 12/14 20:02
wer50888    : 推 雖然不懂 可是能感受到12F 12/14 20:12
lucid1994   : 雖然看不懂 不過看起來很厲害13F 12/14 20:16
j02850      : 推優質善心回復14F 12/14 20:22
ryu38       : 推15F 12/14 20:23
WZChen      : 推推 善良有料16F 12/14 20:26
pttnowash   : 一樓沒有推到17F 12/14 20:31
willhotmail : 推簡單明瞭18F 12/14 20:36
s06yji3     : Thanks19F 12/14 20:45
nina5758    : 推20F 12/14 20:46
nxupap      : 推21F 12/14 20:48
lovemost    : 第四點應該叫MIM22F 12/14 20:49
lovemost    : 新的1P17M都有了
ts05593818  : 先推 怕被笑看不懂24F 12/14 20:51
haha58      : 先推  我承認我看不懂25F 12/14 20:58
LINKBEAR    : 認真回文 推!26F 12/14 21:05
gormandizer : 認真文推一個27F 12/14 21:07
ksvs73150071: 好人一生平安28F 12/14 21:08
GGINDOWBOW  : 推29F 12/14 21:11
kyle5241    : MIM intel 比較強30F 12/14 21:13
hsiliang    : 推,並沒有越多層越好這件事31F 12/14 21:20
chuntsang   : 推32F 12/14 21:23
badalghost  : MIM、MOM其實都有,但設計概念有點差異33F 12/14 21:25
VicLien     : 這回答 是哪家的RD整合不難猜耶34F 12/14 21:27
wsheep      : 推35F 12/14 21:27
lolpklol0975: 太專業了36F 12/14 21:27
giboushu    : 推37F 12/14 21:31
d100810303  : 專業文38F 12/14 21:33
catptt      : 推一個39F 12/14 21:37
OkamiIII    : 推分享40F 12/14 21:42
Dannyx      : 推41F 12/14 21:43
jaye5e5e5e5 : 厲害推42F 12/14 21:52
TTIOP       : 推43F 12/14 21:53
z1231002    : 專業推44F 12/14 22:00
ab4010800   : 推推 每次看到MOM跑掉就頭痛45F 12/14 22:02
babipalapo  : 跨某 哇金價跨某46F 12/14 22:05
f5130419    : 推一個47F 12/14 22:09
s04416      : 推48F 12/14 22:14
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venomsoul   : 喔喔這些關鍵字跟基礎知識真的可以找到更多基礎知50F 12/14 22:19
venomsoul   : 識了讚讚
james582    : 推52F 12/14 22:20
Mashiro17   : 都看不懂 但覺得好厲害 推推53F 12/14 22:20
iamgp       : 推完還是不懂54F 12/14 22:30
rizman28    : 好人好事55F 12/14 22:30
jazztsai    : 不明覺厲56F 12/14 22:46
rattrapante : 我正想說  就被你先發文了57F 12/14 22:53
kivvq98     : 認真用心58F 12/14 22:57
GymRat      : 這等級是製程界的LeBron 了吧59F 12/14 22:59
hasumi666   : 這才是科技板該有的文60F 12/14 23:07

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